集成光电场传感器：湿度稳定机制和封装方案

摘要

集成光电场传感器（IOES）在电场测量中发挥着至关重要的作用。 本文介绍了IOES的原理，并定量评估了湿度对测量精度的影响。 具有不同疏水性涂层和吸湿性外壳的传感器在 25% 至 95% 的相对湿度 (RH) 范围内进行制造和测试。 结果表明，湿度稳定性主要受到传感器外壳吸收水蒸气的影响，这会增加其电导率。 这进一步导致传感器输出的幅度偏差和相移。 为了解决这个问题，提出了一种最佳的湿度稳定封装方案，其中包括使用带有室温硫化氟化硅橡胶涂层的 PEEK 外壳。 与未涂层的陶瓷壳相比，在90% RH下，IOES的相移从90${}^{\circ }$减少到1${}^{\circ }$。 在 30 ${}^{\circ }$C 条件下，在相对湿度为 90% 的环境中进行 20 小时的湿度实验后，电场测量的振幅偏差从 20% 减小到几乎为零。建议的封装方案可用于提高传感器在室外环境（尤其是船舶和沿海地区）中的湿度稳定性。

图1： IOES 的示意图。 (a)基于共路干涉仪的IOES原理。 (b) 类 TE 和类 TM 模式的光学模式轮廓。

我简介

随着电力行业的蓬勃发展，集成光电场传感器（IOES）在电场测量中得到了广泛的应用[1]。 这些传感器具有多种优点，包括频率范围宽、尺寸紧凑和非接触式测量功能。 它们已应用于各种场景，例如绝缘子测试[2]、变电站瞬态过电压[3]、GIS中的快速过电压[4], 电力线周围电磁场[5]、交直流电场[6]和强电磁脉冲测量[7]、 [8],[9]。

然而，基于电光晶体的IOES的环境稳定性一直是人们关注的问题，其中铌酸锂（LN）是最广泛使用的[10][11],[12]。 当传感器部署在室外环境中时，温度和湿度的波动会影响传感器的偏置点，从而对测量精度产生负面影响。 由于电光晶体表现出的热释电效应、热光效应等物理效应，大量研究人员对传感器的温度稳定性进行了研究[13], [14]。

IOES 的湿度稳定性是指其在不同湿度水平（包括振幅和相位角）下保持输出不变的能力。 1986年，Preston等人发现高湿度会影响器件的可靠性，从而提出了用于液氮电光器件的密封光纤尾封装[15]。 随后的研究主要集中在通过气密封装结构[16]、[17]的设计来提高传感器湿度稳定性。 直到2009年，Li发现即使采用密封封装，LN IOES的响应特性仍然会受到环境相对湿度（RH）的影响[18]。 2013年，李等人通过实验进一步证明了IOES的稳定性受湿度影响。 他提出随着湿度的增加，传感器外壳表面的水膜不断增厚是影响湿度稳定性的根本原因[19]。

研究人员认为传感器的湿度稳定性取决于其外壳的疏水性。 通过使用环氧树脂胶处理壳体表面实现疏水（HP）涂层的应用，壳体表面的接触角（CA）从40${}^{\circ }$增加到85${}^{\circ }$. 因此，壳表面的水分子不能形成连续的水膜。 这一修改使传感器能够承受更高水平的相对湿度，在 20 ${}^{\circ }$C 时达到 85%，在 30 ${}^{\circ }$C [19] 时达到 50% 。 然而，湿度范围仍然限制了IOES的应用，需要进一步研究湿度稳定性。

还提出虽然HP薄膜可以防止液态水的渗透，但它对于通过HP材料的水蒸气传输却没有效果[20]。 HP 涂层，包括室温硫化硅橡胶 (RTV-SIR) [21] 等涂层，可能含有小孔，可以吸收周围空气中的水分[20]， [22]。 因此，吸收的水分可以凝结成液态水并溶解到壳材料[23]中。 吸水程度的增加与相对湿度水平和涂层的孔隙率[24]、[25]相关，从而影响传感器的电性能，例如作为介电常数和电导率[26]。

在我们的实验中，观察到在90%RH下IOES的相移增加到90${}^{\circ }$，导致IOES失效。 使用 HP 涂层，相移减少至约 30${}^{\circ }$，这仍然降低了 IOES 的测量精度。 我们的理论模型侧重于水蒸气厚度和传感器外壳电导率，表明影响湿度稳定性的关键因素是传感器外壳的吸湿性，它会导致水蒸气吸收和电导率增加。 这与之前将湿度稳定性归因于传感器外壳疏水性的看法形成鲜明对比。 我们提出了一种结合壳体材料的低吸湿性和HP涂层的低透湿性的最佳封装方案，将IOES在90%RH下的相移提高到1${}^{\circ }$。 经过20小时的测试，电场测量的幅度偏差从20%下降到接近于零。

本文的结构如下。 第二部分介绍了 IOES 的原理，并探讨了湿度对传感器精度的影响。 制作了三种具有不同HP涂层的传感器，并评估了湿度稳定性。 第三节通过理论和建模研究了传感器湿度稳定性的影响机制。 第四节提出了最佳封装方案，并通过高湿度环境下的长期测试进行了验证。 所提出的提高湿度稳定性的封装方案也可以扩展到其他传感器。

II 原理及测量结果

II-A IOES原理

IOES的原理基于LN的普克尔斯效应，即电光晶体的折射率随着施加的电场而线性变化。 IOES 的原理图如 图 1(a)所示。 该传感器基于 x 切体 LN，光沿 z 轴传播。 IOES的原理基于共路干涉仪[1]。 输入光经光纤偏振器进行线偏振，可分为类横电（TE）模式和类横磁（TM）模式。 前者沿 y 方向偏振，后者沿 x 方向偏振。 光学模式剖面图如图1(b)所示。 波导采用钛扩散法制成，具有 7 毫米宽的钛带。 由于两种模式在同一波导路径中传播后存在相位差，因此输出光为椭圆偏振。 输出端使用光纤分析仪，然后光电探测器将光功率转换为电压。

施加电场$E_0$与传感器输出$V_{\mathrm{out}}$之间的IOES传递函数为

$V_{\mathrm{out}}=A\cdot \left[1+b\cos \left({\phi }_0+\phi \left(E_0\right)\right)\right].$ (1)

其中$A$为光电转换系数，$b$为消光比。 ${\phi }_0=\frac{2\pi }{\lambda }\left(n_{\mathrm{TE}}-n_{\mathrm{TM}}\right)L$是没有施加电场的偏置点。 $n_{\mathrm{TE}}$和$n_{\mathrm{TM}}$是TE和类TM模式的有效折射率。 $\lambda$是光波长，$L$是电极的长度。 $\phi (E)=-\frac{2\pi }{\lambda }{\gamma }_{22}{n}_{\mathrm{o}}^3{E}_{0}L$是外加电场$E_0$引起的相位变化，其中${\gamma }_{22}$是LN电光系数的分量，$n_{\mathrm{o}}$ 是 LN [13] 的普通索引。

通过设计波导路径的宽度和长度，可以将偏置点${\phi }_0$设置为$\pi$/2。 然后等式。 (1) 转换为

$V_{\mathrm{out}}=A\cdot \left(1-b\cdot {\displaystyle \frac{2\pi }{\lambda }}{\gamma }_{22}{n}_o^3{E}_{0}L\right).$ (2)

输出电压$V_{\mathrm{out}}$与施加的电场$E_0$成正比。

II-B 实验设置和湿度的影响

湿度稳定性实验装置的示意图和照片分别见图2(a)和(b)。 图中的插图。 2(a)为传感器内部结构，包括LN晶体、金属天线和传感器外壳（涂层前）。 环境室（Espec，型号 EL-02KA）的温度（T）范围为 -40 至 150 ${}^{\circ }$C，控制精度为 $\pm$ 0.5 ${}^{\circ }$C 和 RH 范围为 10% 至 100%。 将50 Hz工频高压源连接至置于环境室中的板电极，并使用高压探头测量施加的电压。 IOES放置在板电极之间，并通过保偏光纤连接到外部光源和光电转换器。 光源和光电转换器封装在一起并由Discoveryoptica Inc.定制。 光源输出功率为250$\mu$W，IOES的总插入损失约为3dB。 所使用的光波长为 1310 nm，因为它与低损耗光纤兼容并且易于作为光源使用。 IOES 的施加电压和输出由示波器同时测量。

图2： IOES 的湿度稳定性实验装置。 (a) 示意图。 插图显示了内部的传感器。 (b) 照片。

不同湿度下的传感器测量输出值如 图 3所示。 随着相对湿度以5%/h的速度增加，相移变大，输出电压明显下降。 当相对湿度达到 75% 时，输出电压降至所施加电场的一半。 图。 3（b）显示了与图相对应的输入输出特性。 3 (a)，也称为利萨如曲线。 这更明显地显示了施加电场和传感器输出之间的相移。 因此，湿度强烈影响IOES的准确性。

图3： 在不同 RH 水平下以 50 Hz 频率测量的传感器输出。 (a) 时域传感器输出。 (b) 输入输出特性。

为了定量评估湿度的影响，首先应确定品质因数。 幅度偏差$\mathrm{\Delta }k$定义为：

$\mathrm{\Delta }k={\displaystyle \frac{E_0-E_1}{E_0}}.$ (3)

其中$E_1$是测量的电场幅度。 $E_0$由高压探头获得，$E_1$由IOES的输出得出，参见(1)和(2)。 由于IOES的输出信号为电压，因此利用IOES干燥后得到的测量电场来校准测量电场。

相移$\mathrm{\Delta }\phi$定义为：

$\mathrm{\Delta }\phi ={\phi }_0-{\phi }_1.$ (4)

其中${\phi }_0$和${\phi }_1$是施加和测量的电场的相位角。

图显示了在 30${}^{\circ }$C 温度下测量的 IOES 的幅度偏差 $\mathrm{\Delta }k$ 和相移 $\mathrm{\Delta }\phi$ 的变化。 4。 这两个参数首先在低相对湿度水平下保持恒定，然后随着相对湿度的增加呈指数增长，最后分别饱和到接近100%和90${}^{\circ }$。 可以看出，幅度偏差$\mathrm{\Delta }k$和相移$\mathrm{\Delta }\phi$变化趋势一致。 由于幅度偏差$\mathrm{\Delta }k$随着外加电场$E_0$的不同而变化，这可能使得$\mathrm{\Delta }k$在不同情况下（例如，外加电压、金属板间隙）发生变化，论文其余部分选择相移$\mathrm{\Delta }\phi$作为表征传感器湿度稳定性的品质因数。 相移越小表明湿度稳定性越好。

图4： 测量 IOES 的振幅偏差 $\mathrm{\Delta }k$ 和相移 $\mathrm{\Delta }\phi$ 的变化，作为 30 ${}^{\circ }$C 下相对湿度的函数。

II-C 壳疏水性的影响

通过不同的 HP 涂层探索了外壳疏水性对湿度稳定性的影响，为湿度稳定包装方案的设计提供了见解。 涂层应用于传感器外壳的外表面，如图 1 的插图所示。 2(a)。

传感器涂层要求表现出三个特性：良好的疏水性、对外壳的附着力强以及绝缘性。 选择了三种不同疏水性水平的HP涂层：RTV-SIR、室温硫化氟化硅橡胶（RTV-SIFR）和超疏水材料（SHP）[27]。 传感器的外壳材料保持为陶瓷。

在涂覆传感器之前，先用酒精进行彻底清洁，然后将其放入 80 ${}^{\circ }$C 的干燥炉中 10 小时，以防止外壳内出现任何潜在的水分。 随后，在室温下将三层HP涂层均匀地涂覆到陶瓷壳的表面。 然后将涂层自然固化 5 小时，再在 60${}^{\circ }$C 的烘箱中干燥 40 小时。 这些处理可确保 HP 涂层与传感器外壳的稳定粘附。

使用接触角 (CA) 和滑动角测量来评估疏水性，这些测量是通过接触角计 (Dataphysicals OCA15 pro) 用 4 $\mu$L 去离子水测定的。 每个涂层在三个不同的位置进行测量，以尽量减少涂层造成的不均匀的影响。 图。 5(a)-(c)为不同涂层的传感器图片，(d)-(e)为相应的CA测量结果。 应该注意的是，传感器的尺寸相同，如 图 5中的 5 毫米刻度线所示。

图5： 具有不同涂层的传感器（a-c）和相应的接触角测量结果（d-e）。 传感器涂有 (a) RTV-SIR、(b) RTV-SIFR 和 (c) SHP。 传感器的尺寸相同。 比例尺指示长度为 5 毫米。 (d) RTV-SIR、(e) RTV-SIFR 和 (f) SHP 的接触角。

表I显示了三种涂层的CA和滑动角的测量结果。 SHP表现出最大的CA和最小的滑动角，表明其具有最好的疏水性。 RTV-SIR 和 RTV-SIFR 涂层都表现出相似的 CA 和相对较低的疏水性。

表一： 三种HP涂层的接触角和滑动角

Coating type	RTV-SIR	RTV-SIFR	SHP
Contact angle (${}^{\circ }$)	97.2	95.2	154.3
Sliding angle (${}^{\circ }$)	90.4	95.7	6.3

图6： 在 30 ${}^{\circ }$C 下测量 3 个具有不同 HP 涂层的传感器在 25% 至 95% RH 范围内的相移。

为了研究具有不同 HP 涂层的传感器的湿度稳定性，环境室的相对湿度以 5%/h 的速度从 25% 变化到 95%，同时温度保持在 30 ${}^{\circ }$C。带有不同 HP 涂层的三个传感器的测量相移如 图 6所示。

然而，尽管具有最大的 CA 和疏水性，但具有 SHP 涂层的传感器的湿度稳定性低于具有最小 CA 的 RTV-SIFR 涂层。 这表明涂层的疏水性不足以解释传感器的湿度稳定性。 有必要进一步探索影响传感器湿度稳定性的潜在机制。

III湿度稳定性的影响机制

根据以上分析，涂层的疏水性并不是影响湿度稳定性的首要因素。 本节重点对三个过程进行建模和仿真：水蒸气分子吸附到封装上、水蒸气吸收到传感器外壳中以及液态水吸附到封装上（RH $>$ 100%）。

仿真布局如图所示。 7。 传感器封装尺寸为3 cm $\times$ 2 cm $\times$ 1 cm，表示厚度为2 mm且充满空气的中空结构。 一对间隙为 4 厘米的金属电极板用于产生均匀的电场。 施加到上极板的电压的幅度和频率为1V和50Hz，而下极板接地。 水的电导率设为$5.5\times {10}^{-6}$S/m，相对介电常数为80。 陶瓷壳的电导率为1$\times$10${}^{-14}$ S/m，相对介电常数为4。传感器的HP涂层由于厚度薄、电导率低而被忽略（大约${10}^{-14}$ S/m）。

采用COMSOL有限元方法建立仿真模型。 使用AC/DC模块和瞬态模拟。 模拟传感器电场由封装中心的探针获得(图7中的计算点）。 然后将此时的模拟电场与内部没有传感器的金属板之间的外部施加电场进行比较。

需要说明的是，这里没有考虑LN波导模态指数的变化。 由于液氮的非吸湿性，其折射率被认为在不同湿度水平下保持恒定。 由于湿度[28]的不同，周围空气的折射率变化在1$\times$10${}^{-6}$以内。 此外，根据以下公式，空气包层中的光模分布比率非常小 图1(b)。

图7： IOES湿度稳定性仿真模型。

III-A 蒸气分子吸附到传感器外壳上

当相对湿度低于100%时，周围环境中仅存在水蒸气。 根据[29]的多分子层吸附理论，壳表面无相互作用的区域开始通过范德华力从空气中吸附蒸气分子，形成单层蒸气分子。 而且，单层和自由蒸气分子之间的范德华力，以及壳层分子和蒸气分子之间的长程引力，进一步促进了蒸气分子的吸附，导致在层上形成多层蒸气分子。壳表面[30]。 蒸汽膜的形成过程如 图 8所示。

图8： 传感器外壳表面形成蒸气膜的物理过程。

在此过程中，蒸气分子通过范德华力吸附到壳表面，但也由于分子间碰撞而解吸。 当吸附与解吸平衡时，壳的覆盖就完成了。 因此，壳表面吸附的蒸气分子处于动态平衡[31]，膜厚由基材特性、环境相对湿度和温度[32]决定。

为了研究蒸汽膜厚度对传感器湿度稳定性的影响，建立了图7所示的传感器模型，其外壳上的蒸汽膜厚度各不相同。 汽膜的介电常数设置为1。 考虑到不同的蒸汽膜厚度，传感器输出与外加电场之间的模拟关系如 图 9所示。 传感器输出的相移$\mathrm{\Delta }\phi$和幅度偏差$\mathrm{\Delta }k$随着汽膜厚度的增加而逐渐增大。 当汽膜厚度大于100 nm时，$\mathrm{\Delta }\phi$和$\mathrm{\Delta }k$为 分别为 83${}^{\circ }$ 和 90%. 但[33]和[34]中的测量结果表明，在RH=90%的条件下，固体表面的汽膜厚度一般小于10 nm。 因此，水蒸气分子吸附到传感器封装上并随后形成蒸气膜对传感器的湿度稳定性影响很小。

图9： 模拟传感器在不同汽膜厚度下的湿度稳定性。

III-B 蒸汽吸收到传感器外壳中

图10： 通过 HP 涂层将蒸汽吸收到外壳中的模型。 分为三个阶段：蒸气分子通过毛细管作用被涂层吸收；少量蒸气分子在涂层内扩散；涂层中的大部分蒸气分子被壳吸收并扩散到壳中。

传感器的HP涂层和外壳材料均具有一定的吸湿性和透湿性[35]。 HP 材料内的微小孔隙通过毛细管作用吸收空气中的蒸气分子。 此外，由于壳材料潜在较高的吸湿性，HP材料内的大量蒸气分子将扩散并溶解到壳材料[36]中。 外壳吸收蒸汽分子的过程如 图 10所示。

随着相对湿度的增加，壳层对水蒸气的吸收也增加，导致电导率[37]、[38]增加。 通过改变壳材料的电导率来模拟该过程。 传感器的湿度稳定性与外壳电导率之间的模拟关系如图11所示。

图11： 模拟传感器的湿度稳定性与外壳材料电导率之间的关系。 传感器外壳的电导率表明传感器对水蒸气的吸收能力。

当壳材料的电导率超过1$\times$10${}^{-8}$ S/m时，相移$\mathrm{\Delta }\phi$和幅度偏差$\mathrm{\Delta }k$传感器迅速增加。 当壳层电导率增大到1$\times$10${}^{-6}$ S/m时，相移和幅值偏差逐渐增大至饱和，分别为90${}^{\circ }$和100 ％， 分别。

因此，涂层传感器的湿度稳定性受到外壳材料的吸湿性和HP涂层的透湿性的显着影响。 结果如图 6表明RTV-SIFR涂层的湿度稳定性最好，可能是因为其孔隙率和透湿性较低。

III-C 液态水吸附到包装上

一旦相对湿度超过空气的饱和水蒸气压（即RH$>$100%），水蒸气分子就会凝结成肉眼可见的液态水并被吸附到壳体表面。

如 图 12所示，使用金相显微镜观察了不同 HP 外壳表面的水滴形态，并在 COMSOL 中进行了建模。 图。 12(a)-(c)代表陶瓷壳表面的水滴形貌(CA 90${}^{\circ }$)，RTV -SIFR (CA = 90${}^{\circ }$) 和 SHP (CA $=$ 150${}^{\circ }$)。 图。 12(d)-(f) 显示了 COMSOL 中各自的水滴模型。

图 12： 通过金相显微镜 (a-c) 和 COMSOL 模型 (d-e) 观察到的壳表面水滴的形态。 (a)陶瓷壳表面、(b)RTV-SIFR涂层和(c)SHP涂层上的水膜形态。 白色和黑色比例尺分别表示长度为 200 $\mu$m 和 500 $\mu$m。 覆盖有（d）连续水膜（CA 90${}^{\circ }$)、（e）独立水滴（CA $=$ 90${}^{\circ }$)和（f）分离水滴（CA $=$ 150${}^{\circ }$)。

当CA小于90${}^{\circ }$时，外壳表面的液态水形成可见的水膜，连接传感器外壳的上下表面，如图所示。 12（a）和（d）。 相反，当CA约为90${}^{\circ }$时，液态水以单独的水滴形式粘附在壳表面，如图所示。 12（b）和（e）。 如 图 12(c)和 (f) 所示，随着 CA 的增加，水滴与外壳之间的接触面积减小，导致外壳表面残留的水滴变小。

模拟模型使用与微小水滴具有相同尺寸和电导率的球体。 不同外壳疏水性传感器的模拟电场输出如图13所示。

图 13： 模拟传感器外壳表面存在液态水时外壳疏水性对湿度稳定性的影响。 陶瓷壳、RTV-SIFR和SHP材料涂覆的壳的CA为90${}^{\circ }$、$=$90${}^{\circ }$、 $=$ 150${}^{\circ }$ 分别。

如图中红色曲线所示。 13，当壳层亲水时，振幅偏差$\mathrm{\Delta }k$接近100%，相移$\mathrm{\Delta }\phi$显着。 这是因为外壳上的水膜连接了传感器外壳的上表面和下表面，沿施加场形成导电表面，从而表现出屏蔽作用。 当壳的 CA 超过 90${}^{\circ }$ 时，例如 RTV-SIFR 和 SHP 涂层，相移 $\mathrm{\Delta }\phi$ 变得接近 0${}^{\circ }$，因为分离的水外壳上的水滴会破坏导电路径。 但由于一定程度的屏蔽作用，$\mathrm{\Delta }k$仍然受到影响。 与RTV-SIFR和SHP涂层相比，SHP涂层的壳体与水滴之间的接触面积较小，导致壳体的表面电导率较低。 因此，幅度偏差$\mathrm{\Delta }k$较小，如图中的绿色和紫色曲线所示。 13。

因此，当相对湿度超过空气的饱和蒸气压且环境中存在液态水时，涂层的CA和疏水性通过屏蔽效应影响传感器的湿度稳定性。 涂层的 CA 越大，湿度稳定性越好。

IV 湿度稳定性改进与讨论

基于以上分析，选择低吸湿性的壳材料聚醚醚酮（PEEK）作为除陶瓷之外的替代壳材料。 该材料具有较低的介电常数和较小的热膨胀系数。 表II列出了两种外壳材料（PEEK 和陶瓷）的特性。

表二： 两种外壳材料的特点

Material type	PEEK	Ceramic
Conductivity (S/cm)	3$\times {10}^{-16}$	8$\times {10}^{-11}$
Relative dielectric constant	3.2	4
Coefficient of thermal expansion (ppm/${}^{\circ }$C)	25-50	3-5
Hygroscopicity	Low	High

对于高吸湿性陶瓷材料[39]，电导率随着RH的增加呈数量级增加。 相反，具有低吸湿性[40]的PEEK材料，在较宽的RH[37]范围内表现出相对较小的电导率变化。

制造并测试了四种传感器：具有陶瓷外壳的无涂层传感器、具有陶瓷外壳的 RTV-SIFR 涂层传感器、具有 PE​​EK 外壳的无涂层传感器和具有 PE​​EK 外壳的 RTV-SIFR 涂层传感器。 实验条件与图一致。 6，测量结果如图所示。 14。

图 14： 在 30${}^{\circ }$C 下，在 25% 至 90% 的 RH 范围内测量采用不同外壳材料封装的传感器的相移。

对于没有涂层封装的两个传感器(图14中的黑色和绿色曲线），发现陶瓷封装传感器的湿度稳定性较差带 PEEK 封装。 采用 PEEK 封装和 RTV-SIFR 涂层的传感器（图 14中的灰色曲线）具有最出色的湿度稳定性，在 25% 至 90% 的相对湿度范围内和 30 ${}^{\circ }$C 的温度条件下，相移保持在 1 ${}^{\circ }$ 以内。

为了进一步研究传感器的长期湿度稳定性，所提出的封装方案在高湿度环境（RH=90%，T=30${}^{\circ }$C）下进行了约20小时的测试。 与采用陶瓷外壳和 RTV-SIFR 涂层封装的传感器进行了比较。 测量结果见 图 15。

图 15： 测量了具有不同外壳材料和RTV-SIFR涂层的传感器的长期湿度稳定性（RH = 90%，T $=$ 30${}^{\circ }$C）。

对于采用陶瓷外壳和 RTV-SIFR 涂层封装的传感器，由于陶瓷材料吸湿性强，越来越多的蒸汽分子通过 HP 涂层溶解到外壳中，导致传感器的振幅偏差 $\mathrm{\Delta }k$ 和相移 $\mathrm{\Delta }\phi$ 随着持续时间的延长而明显持续增加。 $\mathrm{\Delta }k$ 和 $\mathrm{\Delta }\phi$ 在 20 小时分别增加到 20% 和 15${}^{\circ }$。

然而，PEEK 材料的低吸湿性与 RTV-SIFR 涂层的低透湿性相结合，导致 $\mathrm{\Delta }k$ 和 $\mathrm{\Delta }\phi$ 随时间推移保持接近于零且稳定，如红色所示和图中的紫色曲线。 15。 大约1${}^{\circ }$的轻微相移归因于HP材料在相对较高的湿度（RH = 90%）下吸收少量的水蒸气。

湿度稳定性主要受封装方案的影响，而不是 LN 波导变化的影响。 当相对湿度增加时，传感器外壳的电导率因吸收水蒸气而增加。 IOES外壳具有电阻和电容，与LN波导的电阻和电容形成并联电阻电容（RC）网络。 传感器外壳电导率的增加导致 RC 网络中的电阻降低，这进一步导致传感器中的输出幅度降低和相移增加。 这里提出的耐湿包装方案采用具有透湿性的PEEK外壳，以及低吸湿性的室温硫化氟化硅橡胶（RT-SIFR）涂层。

考虑到传感器的室外应用环境，可能会出现高相对湿度和液态水的情况。 因此，建议RTV-SIFR和SHP涂层一起使用，以SHP涂层作为最外层来防止液态水。 该封装方案也有可能提高其他户外集成传感器的湿度稳定性。

V 结论

研究了集成光电场传感器湿度稳定性的影响机制。 结果表明，传感器外壳的疏水性仅在外壳表面存在液态水时影响湿度稳定性。 在仅存在水蒸气的环境中，壳体的疏水性和水蒸气膜的厚度对湿度稳定性没有明显影响。 相反，外壳的吸湿性和涂层的透湿性对湿度稳定性起着至关重要的作用。 这一澄清纠正了传感器外壳的疏水性单独决定传感器的湿度稳定性的误解。

提出了一种最佳包装方案，该方案采用低吸湿性外壳材料PEEK和低透湿性HP涂层RTV-SIFR的组合。 采用拟议封装方案的传感器在 30 ${}^{\circ }$C 温度下，在 25% 到 90% 的相对湿度范围内，相移始终在 1${}^{\circ }$ 以内。长期湿度稳定性显示，在高湿度环境（RH = 90%，T = 30 ${}^{\circ }$C）中使用 20 小时后，电场测量的振幅偏差从 20% 减小到几乎为零。 除了 RTV-SIFR 材料之外，SHP 双层涂层也可用于抵抗液态水。 所提出的封装方案还可以扩展以提高其他户外集成传感器的湿度稳定性。